創発物性科学研究支援チーム

主宰者

主宰者名 秋元 彦太 Hikota Akimoto
学位 理学博士
役職 チームリーダー
略歴
1988 東京大学物性研究所 助手
1990 大阪市立大学大学院理学研究科 博士学位取得
1996 オランダ ライデン大学 客員研究員
1998 米国 フロリダ大学 博士研究員
2001 米国 マサチューセッツ大学 上級博士研究員
2003 理化学研究所 ナノサイエンス研究施設 研究技術開発支援チーム 開発研究員
2008 同 基幹研究所 支援チーム チームヘッド
2013 同 創発物性科学研究センター 量子情報エレクトロニクス部門 創発物性科学研究支援チーム チームリーダー (現職)

研究室概要

創発物性科学研究施設はナノメータースケールの加工・観察、超精密測定・超微細信号の観測を進める拠点として設置された。施設にはISO Class 5 のクリーンルーム、ケミカルルーム、振動や電磁波などの外部擾乱に対処した実験室が設置され、クリーンルームには微細加工に必要な数多くの装置が設置されている。当チームはナノメータースケールでの観察・微細加工に必要な技術・研究支援、技術開発を行うため設置された。チームはデバイス試料の作成や評価に関連する支援、施設利用の研究者の教育、クリーンルームや装置の維持・環境整備などを通して研究者への支援を行う。

研究分野

材料科学、物理学

キーワード

微細加工
試料評価
利用者教育

研究紹介

微細加工素子作成を強力にサポート

創発物性科学研究センターでは、量子デバイス、スピンデバイスや量子コンピューターなど、微細加工素子による省エネルギーデバイス・高速情報処理デバイスの実現を目標に、研究が行なわれている。こうした素子・デバイスの実現には、最新の微細加工装置の導入とともに、装置を常に最善の状態に保つことや研究者の様々な要望を踏まえたノウハウの提供や技術支援が望まれる。

当チームはこうした微細加工技術支援の要望に答え研究活動を強力にサポートする。創発物性科学研究施設内のクリーンルームには電子ビーム露光装置、マスクレス露光装置をはじめとする露光装置、蒸着装置、スパッタ装置などの成膜装置、酸アルカリ水溶法・イオンエッチングなどの化学的・物理的エッチング装置、走査型電子顕微鏡などの観測装置など設置されており、10 nm から μm オーダーにわたる微細加工素子が作成されている。我々は装置の導入・整備・維持、安全管理、装置利用講習、技術開発、ノウハウの提供を行い、省エネルギーデバイスや量子情報処理デバイスの実現に向けた研究者の弛まぬ努力を強力に支援する。

顕微鏡写真

クリーンルーム内で作成された試料素子の顕微鏡写真

メンバー一覧

秋元 彦太 Hikota Akimoto

チームリーダー hikota[at]riken.jp R

中臣 礼子 Reiko Nakatomi

テクニカルスタッフI

田口 佳男 Yoshio Taguchi

テクニカルスタッフI

井上 振一郎 Shinichiro Inoue

客員研究員

主要論文

  1. M. Hirao, D. Yamanaka, T. Yazaki, J. Osano, H. Iijima, T. Shiokawa, H. Akimoto, T. Meguro

    STM Study on Adsorption Structures of Cs on the As-Terminated GaAs(001)(2×4) Surface by Alternating Supply of Cs and O2

    IEICE Trans. Electron. E99C, 376 (2016)

お問い合わせ

〒351-0198

埼玉県和光市広沢2-1

E-mail:
hikota[at]riken.jp

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