半導体技術支援チーム

主宰者

主宰者名

松倉文礼 Fumihiro Matsukura

学位

博士（理学）

役職

チームディレクター

略歴

1994	東北大学電気通信研究所助手
2006	東北大学電気通信研究所助教授
2012	東北大学原子分子材料科学高等研究所教授
2018	東北大学国際集積エレクトロニクス研究開発センター教授
2023	理化学研究所創発物性科学研究センター半導体技術支援チームチームリーダー（現職）

研究室概要

創発物性科学研究施設はナノメータースケールの加工・観察、超精密測定・超微細信号の観測を進める拠点として設置された。施設にはISO Class 5 のクリーンルーム、ケミカルルーム、振動や電磁波などの外部擾乱に対処した実験室が設置され、クリーンルームには微細加工に必要な数多くの装置が設置されている。当チームはナノメータースケールでの観察・微細加工に必要な技術・研究支援、技術開発を行うため設置された。チームはデバイス試料の作成や評価に関連する支援、施設利用の研究者の教育、クリーンルームや装置の維持・環境整備などを通して研究者への支援を行う。

研究分野

物理学、材料科学

キーワード

微細加工
試料評価
利用者教育

研究紹介

微細加工素子作製を強力にサポート

創発物性科学研究センターでは、量子デバイス、スピンデバイスや量子コンピューターなど微細加工素子による省エネルギ化・情報処理高速化の実現を目標に研究が行なわれている。そのためには先端微細加工装置を最良の状態に保ち研究者の様々な要望に対応する技術支援が望まれる。創発物性科学研究施設内のクリーンルームには電子ビーム描画装置、マスクレス描画装置といった描画装置、蒸着装置、スパッタ装置などの成膜装置、酸アルカリ水溶法・イオンエッチングなどの化学的・物理的エッチング装置、走査型電子顕微鏡などの観測装置が設置されており、10 nm から μm オーダーにわたる微細加工素子が作製されている。装置の導入・整備・維持、安全管理、装置利用講習、技術開発、ノウハウの提供により研究者を強力に支援する。

クリーンルーム内で作製された素子の顕微鏡写真

メンバー一覧

松倉文礼 Fumihiro Matsukura	チームディレクター	fumihiro.matsukura[at]riken.jp
中臣礼子 Reiko Nakatomi	テクニカルスタッフI
田口佳男 Yoshio Taguchi	テクニカルスタッフI
小山英明 Hideaki Oyama	テクニカルスタッフI

主宰者